比利时实现纳米孔晶圆级制造突破

12月22日，比利时微电子研究中心宣布，已成功借助阿斯麦最先进的极紫外光刻设备，实现纳米孔在整片晶圆上的规模化制造。这一成果被设备合作方评价为“一次意料之外却极具价值的生物医学延伸应用”。由于纳米孔在分子检测领域展现出的巨大潜力，该技术突破有望推动相关科学应用迈入新阶段。

纳米孔是一种直径仅数纳米的微型通道，其尺寸约为人类头发丝的万分之一。尽管体积微小，这类结构在生物医学研究中具有重要意义。其核心应用原理基于离子电流的变化：当单个分子穿越纳米孔时，会干扰原本稳定的电流，产生具有特征性的电信号波动。通过分析这些波动，可获取分子的尺寸、电荷、构型及相互作用等信息，从而实现对不同分子的高灵敏度识别。

利用极紫外光刻技术制造的纳米孔，能够作为精准的“分子筛检门”，用于检测病毒、蛋白质、脱氧核糖核酸等生物分子，为分子级诊断提供可靠手段。此外，通过调控固态纳米孔的尺寸，还可将其应用于分子过滤系统或探索分子级别的数据存储方案，进一步拓展技术边界。

传统纳米孔制备方法普遍存在效率低、成本高、难以脱离实验环境等问题，严重制约了其实际应用。而此次成果的关键在于，研究人员已在300毫米标准晶圆上实现了直径约10纳米的纳米孔批量制造，具备高度一致性与可重复性。这一进展不仅提升了制造精度，更打通了从实验室研发到工业化生产的路径，为纳米孔传感技术的广泛落地提供了可行性基础。