我国建成首套高精度圆度基准装置，填补量值溯源空白

二零二六年七月七日，我国首套高精度圆度基准装置正式建成并投入使用。这一重要成果填补了国内圆度量值溯源体系的空白，标志着我国在高精度圆度测量领域取得突破性进展，整体技术水平迈入国际先进行列。

该装置面向航空航天、高端数控机床、先进光学系统、半导体制造等关键战略产业，提供稳定、可靠、高精度的量值溯源保障。圆度作为几何量形位公差体系中的基础参数之一，其测量精度直接影响精密主轴运行稳定性、先进光学元件成像质量以及半导体芯片制造良率与装配精度。

过去，我国虽已建立平面度等几何量计量基准，但长期缺乏国家级圆度量值溯源源头，导致高端装备研发与制造过程中存在技术受制于人的风险，成为制约产业自主可控与高质量发展的突出瓶颈之一。

本次建成的高精度圆度基准装置融合多项自主创新技术，成功攻克高准确度圆度评定、主轴误差分离、滤波一致性控制等国际公认的技术难点。装置首创基于高准确度圆度滤波与全效数据利用的圆度计算模型，显著提升标准半球分离后轮廓重构的稳定性与重复性。同时，自主研发的新型误差分离方法有效抑制主轴回转误差，将圆度测量不确定度由二十纳米降至六纳米，达到国际先进水平。

由此，我国已在高准确度圆度测量若干核心环节实现关键技术自主可控，彻底打破长期依赖进口技术的局面，为相关领域全面实现国产化替代提供了坚实可靠的技术基础。