内存颗粒越发先进：三星用上10亿一台的EUV光刻机打造

继SK海力士宣布在M14和在建的M16工厂都引入EUV光刻机之后，三星也坐不住了。

据三星介绍，自2014年以来，EUV光刻机参与的晶圆已超过400万片，公司积累了丰富的经验，比其他厂商掌握了更多的诀窍，领先对手一两年。

据悉，三星的1z nm DRAM第三代内存使用了一层EUV，第四代1a nm将增加到四层。euv光刻胶的加入可以减少多重曝光工序，提供工艺精度，从而减少生产时间，降低成本，提高性能。

SK海力士、美光等也在尝试euv，但如果层数太少，效率提升并不明显。即单价高。毕竟EUV光刻机买一台要10亿元。三星在这方面倒是有优势的。因为自己有晶圆厂，“东方不亮西方亮”，光刻机利用率很高。

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