ASML在其官网的纪念品商城中推出了一款独特的乐高模型套装,这是基于其High NA EUV光刻系统TWINSCAN EXE:5000的产品。这款模型由ASML的员工Rick Lenssen设计,他同时也是一名乐高爱好者。该模型精确复刻了TWINSCAN EXE:5000的外观,包含851个零件,尺寸为宽352mm、高99mm、深64mm,售价为227.95美元,约合人民币1653元。
High NA EUV光刻机是全球首款使用0.55NA数值孔径的光刻机,其分辨率可达8nm,成像对比度比之前的NXE系列0.33NA EUV系统提高了40%,能够支持2nm逻辑节点图案化,其单价高达3.5亿欧元。Rick Lenssen此前曾用2.5年的时间用乐高积木复现了ASML的费尔德霍芬主园区,并且他已经推出过多款ASML主题的乐高套装产品。
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