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ASML交付首台YieldStar 385系统:满足3nm工艺

据微博消息,ASML昨天交付了首台YieldStar 385检测系统。该产品具有更快的工作台和更快的波长切换功能。与以前的型号相比,它具有最新的测量技术,提高了测量速度和精度,可以满足3纳米工艺的要求。

YieldStar 385不是光刻机,而是一种用于对晶圆进行检测的装置,可以用于各种工艺下测量,定位损坏的零件。目前,YieldStar 380G系统采用波长为425nm至885nm的光源进行检测,中心精度为1nm,支持聚焦于不同深度,检查芯片不同层的成品率。

ASML没有透露该产品的销售目标,但台积电表示将于今年开始3nm芯片研发制造,预计2022年实现量产。

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