朱新萍：20纳米IC加工技术打造专业设备

第三届全球传感器高峰论坛暨中国物联网应用峰会今天在合肥召开。信息技术在过去经历了计算时代、通讯时代，当前正步入“感知”时代，用户对传感器的需求将呈现爆发式增长。传感器作为信息产业的重要组成部分，是新技术革命和信息社会的重要技术基础，广泛应用于各行各业。“物联天下，传感先行”，以微机电系统技术为基础的智能传感器发展水平已成为衡量一个国家是否具有国际竞争优势的重要标志。

今天上午是今天峰会的主论坛，在四位嘉宾/领导致辞之后，主导半导体和传感器产业的巨头们也纷纷开始进行演讲，通过不同的维度，与大家共同分享半导体以及传感器行业的目前发展现状以及未来的发展趋势。

今天上午中微半导体的朱新萍副总裁进行演讲《MEMS刻蚀技术的最新进展》，与大家分享最新的半导体生产设备的技术发展趋势，MEMS传感器市场随之腾飞，需求量变得越来越大，几乎是几何倍数增长，但市面上的产品生产设备依然是很多年前的水平，中微公司20纳米IC加工技术打造专业设备，为传感器生产厂商有效节约成本，制造更好的产品。

近期国际半导体大厂不断进行调整，而中国半导体产业则迈入跨越式发展阶段，智能设备的出货量开始增大，物联网也在快速发展，MEMS传感器市场随之腾飞，需求量变得越来越大，几乎是几何倍数增长，但市面上的产品生产设备依然是很多年前的水平，中微公司有350多个等离子体刻蚀和MOCVD化学薄膜反应器，在亚洲30条芯片和微观加工生产线实现量产。

中微半导体业务范围覆盖6个国家和地区，已有16纳米的刻蚀在国际最先进的芯片生产线实现每月14万片的量产，并正同海外客户共同研发10纳米工艺。公司连续两年保持40%的年销售增长，使得已成为我国微观加工设备的领先公司，国际微观加工设备的瞩目的新星。