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单台1.5亿美元 ASML制造新一代EUV光刻机

据《连线》杂志报道,在美国康涅狄格州郊区的一间洁净室中,ASML的工程师们正在为一台单台造价1.5亿美元的新机器制造关键部件,该部件是新一代EUV系统的组成部分,会采用一些新技术来最大限度地减少其使用的光波长,包括缩小芯片的特征尺寸并提升性能。

ASML的工程师正在装配系统组件(图片来自ASML)

要知道,当前的EUV机器已经像一辆公共汽车那么大,包含10万个零部件和两公里长的电缆,运输这些组件需要40个货运集装箱、三架货机和20辆卡车,能够买得起这种设备的公司只有少数几家,大部分供货给了台积电、三星和英特尔。至于新一代EUV光刻机,则可以让科技产业在未来十年继续保持高速发展。

在康涅狄格州的工作室内,可以看到一块巨大的铝被雕刻成一个框架,最终形成一个面罩或“标线”,以纳米精度移动,反射一束极紫外光。同时,新机器还引入了一种新方法在芯片上产生更小的特征——更大的数值孔径,允许光以不同的角度穿过光学器件来提高成像的分辨率,这需要更大的镜面,以及新的软件和硬件精确控制组件。

据了解,新机器的成品组件预计在2021年底运往荷兰Veldhoven,之后在2022年初添加到首台下一代EUV机器的原型机。使用新系统制造的第一批芯片可能由英特尔制造,英特尔曾表示,到2023年其会获得其中的一台设备。

只有少数公司买得起ASML的巨型机器(图片来自ASML)

通过使用非凡的工程缩小用于制造芯片的光波长,EUV可以延续技术的领先性,从而推动智能手机、云计算、AI、生物技术、机器人等领域的快速发展。“摩尔定律的消亡论被夸大了。”麻省理工学院研究新型晶体管架构的教授Jesús del Alamo认为,“我认为它会持续很长一段时间。”

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