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ASML新一代EUV光刻机量产:造价高昂

外媒称,ASML已经开始制造新一代EUV光刻机,每台造价1.5亿美元,约合人民币近9.7亿元。

芯研所9月2日消息,外媒称,ASML已经开始制造新一代EUV光刻机,每台造价1.5亿美元,约合人民币近9.7亿元。据悉,在位于美国康涅狄格州郊区的一间大型洁净室里,ASML工程师们已经开始为一台机器制造关键部件,这台机器有望让芯片制造行业沿着摩尔定律至少再走上10年时间。

新一代极紫外光刻机大约有一辆公共汽车那么大,整个机器包含10万个部件和2公里长的电缆。每台机器发货需要40个集装箱、3架货机或者20辆卡车。只有诸如台积电、三星和Intel等少数公司能买得起这种机器。“这真是一台不可思议的机器,”麻省理工学院研究新型晶体管架构的教授 Jesús del Alamo 说。“这绝对是一款革命性的产品,是一项突破,将给芯片行业带来新的生命。”

芯研所采编

造好的组件将于2021年底运往荷兰维荷芬,然后在2022年初安装到新一代极紫外光刻机的第一台原型机中。Intel可能会使用这种新机器制造出第一批芯片。Intel表示,预计将在2023年下线第一批芯片。凭借比以往任何机器所蚀刻的图案尺寸更小,让每个芯片都有数百亿个元件,这台机器在未来几年所生产的芯片应该是史上处理速度最快、效率最高的。

值得一提的是,新一代极紫外(EUV)光刻机采用更大的数值孔径来进一步缩小芯片上的元件尺寸。这种方式允许光线以不同角度穿过光罩,从而增加图案成像的分辨率。这就需要更大的镜子和新的软硬件来精确控制组件蚀刻。新一代极紫外光刻机将使用更高数值孔径来制作8nm大小的特征图案。目前台积电在芯片制造过程中使用的就是极紫外光刻技术。

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