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ASML新EUV极紫外光刻机交付 售价1.45亿美元

ASML近日公布了2021年第二季度财报,其中EUV极紫外光刻机收入就有49亿欧元,而总的积压订单金额已达175亿欧元。根据披露,目前ASML第一台全新TWINSCAN NXE:3600D EUV光刻机已经交付相比之前的NXE:3400C生产力提高了15-20%,覆盖率(套刻精度)提高了约30%。。

ASML EUV光刻机目前还是第一代产品,EUV光源波长13.5nm左右,物镜NA数值孔径0.33,并发展了一系列型号。NXE:3400B是最早量产出厂的型号,产能为135WPH,而最新的NXE:3600D产能可以提升至160WPH

据悉,NXE:3600D价格价格达到了1.45亿美元(约合人民币9.38亿元),不过ASML还没透露第一个交付的客户是谁。

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