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国产28nm湿法工艺设备完成认证 明年进军14/7nm

至纯科技28纳米节点全部湿法工艺设备已认证完毕。上海证券报告中指出,至纯科技14nm及7nm工艺预计2022年可供客户验证。

芯研所7月8日消息,日前国内半导体设备公司至纯科技在互动平台表示,目前至纯科技28纳米节点全部湿法工艺设备已认证完毕。至纯科技表示,国内目前有三家在湿法工艺设备端提供中高阶湿法制程设备,分别是至纯科技、北方华创和盛美,国内厂商的市场占比在逐年上升中。

芯研所采编

除了28nm工艺节点之外,上海证券报告中指出,至纯科技14nm及7nm工艺预计2022年可供客户验证,客户包括中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为、台湾力晶等行业领先者。

2020年湿法设备出货量超过30台,新增订单5.3亿元,增长211.8%。至纯科技成立于2000年,是一家在上交所上市的高新技术企业,证券代码603690.SH。公司坐落于上海紫竹这个国家级科学园区内,注册资本2.08亿元,致力于为高端先进制造业企业提供高纯工艺系统的解决方案,并涵盖了提供整个系统的设计、选型、制造、安装、测试、调试和系统托管服务。 至纯提供的系统和专业服务,广泛应用于半导体、微电子、生物医药、光伏、光纤、TFT-LCD、LED等领域。

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