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EUV光刻机每天耗电3万度 缺电成为台积电首要难题

我们知道光刻机很贵,而7nm工艺以上所需的EUV极紫外光刻机更贵,而且还是一个非常耗电的电老虎。据媒体报道,台积电每台EUV光刻机每天耗电量高达3万度,其最新规划的3nm工厂年耗电量将达70亿度。缺电,或成为掣肘台积电的首要因素之一。

EUV光刻机每天耗电3万度

之所以EUV光刻机如此耗电,是因为SK 海力士此前曾表示:EUV 的能源转换效率只有 0.02% 左右。目前250瓦功率的EUV光刻机,需要输入0.125万千瓦的电力才能达到,这个耗电量是传统氩氟雷射的 10 倍以上。250W的EUV机器工作一天将会消耗3万度电。

“极紫外光物理特性与一般常见的紫外光差异极大。这种光非常容易被吸收,连空气都不透光,所以整个生产环境必须抽成真空;同时,也无法以玻璃透镜折射,必须以硅与钼制成的特殊镀膜反射镜,来修正光的前进方向,而且每一次反射仍会损失 3 成能量,但一台EUV机台得经过十几面反射镜,将光从光源一路导到晶圆,最后大概只能剩下不到 2% 的光线。”这也是 EUV 机台如此耗电的主因之一。

正因为如此,台湾的人均耗电量高得惊人,完全是因为台积电拉高了平均值。而随着全球的先进新品都在台积电进行代工生产,因此其产能全开电力供应将会接受严苛的考验。台积电如果想要继续攀登先进工艺的高峰,可能首先需要考虑电力供应的问题了。

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